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用下面反应
只能得到不纯的粗硅。粗硅需进行精制,才能得到高纯度硅。
首先,使Si跟Cl2起反应:Si+2Cl2=SiCl4(400~500℃)
生成的SiCl4液体通过精馏,除去其中硼、砷等杂质。
然后,用H2还原SiCl4:
这就得到纯度较高的多晶硅。
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