双氧水作为产氧剂如果稀释至危险较小时，产氧量低，无实际意义；如果浓度达到用于产氧的水平时危险性和造成严重后果的隐患超过可用性。所以，各国科学家纷纷致力于开发固体的化学产氧剂。

    通过碱金属氯酸盐的热分解以生成氧气，已经发现了几十年。第二次世界大战以前，美国人曾试图以此作为飞行员呼吸用的氧源，由于生成的氧气不能完全达到医用纯度标准，没有实际应用。但是，这一时期的研究工作，使人们认识到固体产氧剂有稳定、方便的优势。

    随后，氯酸盐类固体产氧剂首先为美国海军所接受，制成了著名的“氧烛”，用于紧急氧源和潜水艇在海底运行时的供氧装备。至1967年，固体产氧剂的开发重点，转移到用于军用与民用飞机的紧急供氧系统，并陆续在消防队、矿井抢险队和火箭发射基地作为主要紧急氧源。

    目前，实际应用为产氧剂的化学物质有：

    过氧化锂（Li₂O₂）是产氧量较高的一种过氧化物，能够释出的氧为自重的34.8%。它极易溶解于水，生成相应的碱和过氧化氢（双氧水），并发出热；过氧化氢遇热即释放出氧气。

    由于过氧化锂有产氧和除氯作用，可以用于净化密闭空间中人员代谢产生的气体，在潜水艇的水下运作和矿井救援等场合，保证正常的生命活动。

    由于过氧化锂遇水即生成双氧水，所以有强腐蚀性。在有水蒸气存在时，遇金属粉末可引起爆炸。它本身不会燃烧，但与木料、纸张、油脂等有机物质极易点着起火。过氧化锂应储存于密封容器中，以免吸收空气中的水蒸气和碳酸气，发生危险或变质。

    过氧化钠（NaO₂）的产氧量为自身重量的20.5%，遇潮湿空气和二氧化碳即反应释出氧气。英国自1906年即把过氧化钠用于隔绝式呼吸器具内的空气再生剂，在使用时添加少量活化剂和水。过氧化钠也可与氯酸盐或高氯酸盐混合，制成“氧烛”，作为紧急氧源使用。

    过氧化（CaO₂）可释出自身重量22.2%的氧气。它不溶于水，加热至145℃时开始分解，超过300℃时释放出大量氧气。把过氧化钙用作紧急氧源，一般采用添加酸类物质的办法。

    过氧化钡（BaO₂）的产氧量为自身重量的9.4%。它难溶于水，在加热超过500℃时才有明显的氧气释出。由于过氧化钡对人体呼吸有毒害。在空气中的允许浓度为0.5mg/m³.

    过氧化尿素（CO（NH₂）·2H₂O₂）也可在加热至80℃时释出氧。

    在超氧化物中，超氧化钾（KO₂）的产氧量较高，可释出自身重量的33.8%的氧，是常用的产氧剂。1952年，瑞士探险队攀登珠穆朗玛峰时使用一种重量为2.25公斤隔绝式呼吸器，供氧时间为45分钟，即采用超氧化钾为产氧剂。1960年，美国应用超氧化钾净化宇宙飞船里面的空气；还以超氧化钾作11公斤重的宇宙服的产氧剂，可以供氧2小时。

    过氧水合碳酸钠是化学性质平和的无机化合物。它的含氧量较高，稳定性较强，无毒性和腐蚀性，价格也比较适中，是家用安全制氧剂的首选原料。但是，真正用于实用，还要精心选料，精心设计制造工艺，确实做到制造过程中毫无有毒害物质残留，而且造粒恰当，再配以适当催化剂。这样才能既保证产氧纯度完全符合国家规定的标准，又使产氧的速度和流量适合人体吸收，保证满足氧疗、氧保健和输氧急救的需要，同时不会给吸氧者的身体造成任何可能的伤害。国家医药主管部门对于生产医用制氧剂的审查批准十分严格，正是从这些考虑出发的。