步骤1：粗硅制备
电弧炉高温冶炼
反应方程式：
$$SiO_2 + 2C \xrightarrow{1800-2000^\circ C} Si + 2CO\uparrow$$
条件：1800~2000℃ → 生成粗硅
步骤2：粗硅氯化
流化床反应器
反应方程式：
$$Si + 3HCl \xrightarrow{300^\circ C} SiHCl_3 + H_2$$
条件：300℃ → 生成三氯氢硅
步骤3：还原提纯
高温还原炉
反应方程式：
$$SiHCl_3 + H_2 \xrightarrow{1100^\circ C} Si + 3HCl$$
条件：1100℃ → 生成高纯硅